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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:蔡璨澤
研究生(外文):TSAI, TSAN-TSE
論文名稱:氧電漿蝕刻技術對於自組裝奈米球之影響及其應用於提升有機矽基疏水膜特性之研究
論文名稱(外文):A study on the self-assembled nanospheres affects by the oxygen plasma etching and its application for improving the hydrophobicity of a organosilicon thin film
指導教授:劉代山
指導教授(外文):LIU, DAY-SHAN
口試委員:李宗信陳泰宏劉代山
口試委員(外文):LI, TSUNG-HSINCHEN, TAI-HUNGLIU, DAY-SHAN
口試日期:2024-07-27
學位類別:碩士
校院名稱:國立虎尾科技大學
系所名稱:光電工程系光電與材料科技碩士班
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2024
畢業學年度:112
語文別:中文
論文頁數:74
中文關鍵詞:氧電漿蝕刻技術聚苯乙烯奈米球有機矽基薄膜疏水特性
外文關鍵詞:Oxygen plasma etching technologypolystyrene nanospheressilicone based filmhydrophobic properties
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