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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:林家豪
研究生(外文):LIN, JIA-HAO
論文名稱:以超高頻化學氣相沉積法製備氫化奈米結晶矽薄膜並應用於細胞分離篩選晶片
論文名稱(外文):Hydrogenated nanocrystalline silicon thin film prepared by VHFPECVD and its application of biological cell screening biochip
指導教授:劉世崑劉世崑引用關係吳宏偉
指導教授(外文):Shih-Kun LiuHung-Wei Wu
口試委員:劉世崑吳宏偉蘇炎坤王永和張守進洪政源
口試委員(外文):Shih-Kun LiuHung-Wei WuYan-Kuin SuYeong-Her WangShoou-Jinn ChangCheng-Yuan Hung
口試日期:2022-05-27
學位類別:博士
校院名稱:國立高雄科技大學
系所名稱:電子工程系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2022
畢業學年度:110
語文別:英文
論文頁數:99
中文關鍵詞:光誘發介電泳奈米晶矽薄膜超高頻化學氣相沉積
外文關鍵詞:Light-induced dielectrophoresisNano-crystallite silicon thin filmVery high frequency plasma enhanced chemical vapor deposition
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