臺灣博碩士論文加值系統

隨著科技發展，人們生活與科技產品緊密結合，對於螢幕畫質也要求也越來越高，在不斷的提升液晶螢幕的解析度下，LCD面板製造商必須在相同可視面積需塞入更多畫素，以Full HD解析度提升至4K解析度來說，同一單位面積的解析度提升了4倍，4K面板所需的TFT元件數量達到Full HD面板的12倍，在元件密度如此高的情況下，提升產品良率，透過雷射修補降低產品報廢率變成了LCD面板製造發展的一大重點。本論文針對TFT-LCD製程之中的TFT Array玻璃基板製程提出詳細介紹，並介紹如何檢測TFT-ARRAY之產品缺陷(defect)，針對產品缺陷修補，以提升產品良率，降低生產成品，實驗研究現行修補方法雷射化學氣相沉積(Laser Chemical Vapor Deposition，LCVD)所使用之材料六碳化鎢以及本次實驗研究採用之新材料之阻抗值差異，降低電路阻抗值是直接降低RC-Delay Time的最有效方法之一，較低的RC-Delay Time，亦可已讓TFT元件ON/OFF的速率更快，提升整體電路之反應速度，降低電路所需功率。

For improvement of the resolution of the LCD panel, LCD panel manufacturers now must put more pixels in the same viewing area. for example, from Full HD resolution to 4K resolution, resolution of the same viewing area has increased by 4 times. number of TFT components is 12 times more that the Full HD panel. when the component density is that high, how to improve product yield, and reducing product scrap rate through laser inline repair has become a major issue of LCD panel manufacturing. this thesis presents an introduction to the array process in the TFT-LCD manufacturing. and detects array product defects, and defect repair for improve product yield, and reduce products scrap, experiment the resistance difference of Laser Chemical Vapor Deposition (LCVD) using difference source material reducing the resistance is one of the most effective ways to directly reduce the RC-Delay time. lower RC-Delay Time means the TFT components can turn ON/OFF faster. improve the response speed and reduce the power consumption of the circuit.

摘要 i
致謝 iii
目錄 iv
圖目錄 vi
表目錄 x
第一章、 緒論 1
1.1、 研究動機 2
第二章、 TFT-LCD介紹 3
2.1、 TFT-LCD發展簡介 3
2.2、 TFT-LCD的顯示原理 5
2.3、 TFT元件介紹 8
2.4、 TFT Array製程介紹 11
2.5、 TFT Array缺陷偵測 17
2.6、 TFT缺陷修補 21
第三章、 實驗方法與裝置 24
3.1、 實驗目的 24
3.2、 實驗所需配備 25
3.3、 實驗配備介紹 26
3.4、 實驗方法&流程 30
3.5、 實驗流程 30
3.6、 鈷M1(有PTC) 32
3.7、 鈷M2(無PTC) 35
3.8、 銀M1(有PTC) 38
3.9、 銀M2(無PTC) 41
第四章、 實驗結果與討論 44
4.1、 實驗結果 44
4.2、 結論 48
參考文獻 49

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