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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:謝亞宸
研究生(外文):HSIEH, YA-CHEN
論文名稱:探討更換激光頭時晶圓雷射切割品質的穩定性
論文名稱(外文):Investigating the stability of wafer laser quality when replacing laser heads
指導教授:葉旻彥葉旻彥引用關係
指導教授(外文):YEH, MIN-YEN
口試委員:雷伯薰武東星楊奇達葉旻彥
口試委員(外文):LEI, PO-HSUNWUU, DONG-SINGYANG, CHI-DAYEH, MIN-YEN
口試日期:2023-07-22
學位類別:碩士
校院名稱:國立高雄科技大學
系所名稱:半導體工程系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2023
畢業學年度:111
語文別:中文
論文頁數:54
中文關鍵詞:雷射切割更換激光頭砷化鎵晶圓
外文關鍵詞:Laser cuttingReplacing the laser headGaAs wafer
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