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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:方少彤
研究生(外文):FANG, SHAO-TUNG
論文名稱:共濺鍍與電化學共沉積Co-Ru合金薄膜之特性
論文名稱(外文):Characteristics of Co-Ru Alloy Thin Films Prepared by Co-sputtering and Electrochemical Co-deposition
指導教授:方昭訓
指導教授(外文):FANG, JAU-SHIUNG
口試委員:鄭義榮陳錦山蔡定侃
口試委員(外文):CHENG, YI-JUNGCHEN, JIN-SHANTSAI, TING-KAN
口試日期:2023-07-21
學位類別:碩士
校院名稱:國立虎尾科技大學
系所名稱:材料科學與工程系材料科學與綠色能源工程碩士班
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2023
畢業學年度:111
語文別:中文
論文頁數:141
中文關鍵詞:共濺鍍電化學共沉積鈷釕合金薄膜連導線
外文關鍵詞:co-sputterelectrochemical co-depositionCo-Ru alloy thin filminterconnects
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