本研究取用周遭簡單可得的材料，製成一種可攜式的大氣電漿系統，該系統利用不同的電極配置，組裝成不同的電漿反應器。研究結果表示可利用自製的高週波產生器與反應器成功地產生大氣電漿，因此我們進一步將整套系統改裝成可攜式之大氣電漿系統，以車用蓄電池取代110V電源，並設計可調控制線路，經實驗結果顯示可攜式的大氣電漿系統可成功地產生出三種不同的電漿。
由實驗結果顯示當電壓在0.5~4kV左右時可以產生微電漿，但是大氣噴射式的電漿系統所需要約10~13kV才能產生，而介電質放電則需電壓到達20kV左右可以產生微電漿，但要電壓在21~22kV之間，微電絲的分佈會較均勻，分布密度也明顯地較高。

This research builds a portable atmospheric pressure plasma system from the commercial available components. The system consists of different electrode configurations which become the plasma reactors. The atmospheric pressure plasma can be ignited with high frequency generator and the above reactors. Moreover, the whole atmospheric pressure plasma system successfully turns to portable version with a battery. The portable atmospheric pressure plasma system can generate three plasma.
The microplasma can be generated at 0.5-4kV. The atmospheric pressure plasma jet is operated at 10-13kV. The dielectric barrier discharge can be generated above 20kV.

摘要 i
Abstract ii
誌謝 iii
目錄 iv
表 目 錄 vi
圖 目 錄 vii
第一章 緒 論 1
1.1 前言 1
1.2 電漿分類特性 7
1.2.1溫度的分類:平衡電漿和非平衡電漿 7
1.2.2電源供應器種類 10
1.3 大氣電漿 12
1.3.1電漿火炬（Plasma torch） 14
1.3.2 電暈放電(corona discharge) 15
1.3.3 介電質放電(Dielectric barrier discharge，D B D) 16
1.3.4 噴射式大氣電漿 (Atmospheric pressure plasma jet ，APPJ) 17
1.4 研究動機與目的 18
第二章 文獻回顧 19
2.1 介電質與屏蔽放電 19
2.1.1 電極結構及其應用 21
2.1.2 介電質放電法合成臭氧 22
2.1.3 電漿蝕刻原理 23
2.1.4 低壓輝光放電 24
2.1.5 微電漿 26
2.1.6 大氣電漿表面處理 27
第三章 實驗方法 28
3.1 實驗流程 28
3.2 大氣電漿裝置的主要構造 29
3.2.1 高週波電漿產生器電源主機 31
3.2.2 電漿反應器 33
3.2.3 氣體進氣定量系統 34
3.3 實驗器材與量測儀器 35
3.3.1 玻璃管切割器 35
3.3.2 光學發射光譜儀(Optical Emission Spectroscopy，OES) 35
3.3.3 示波器 37
3.3.4 高壓衰減探測棒 38
3.3.5 感應電流探測棒(Current Probe) 39
3.3.6 夾式電流勾錶 40
3.3.7 熱耦式溫度計(TC) 41
3.4 控制模組(Control module) 42
3.4.1 二極體(diode) 42
3.4.2 ZVS驅動線路與特斯拉線圈 43
第四章 結果與討論 44
4.1 微電漿測試 44
4.1.1 反應氣體流量變化變對電漿的影響 44
4.1.2 電極間距改變對電漿的影響 45
4.1.3 光學放射光譜檢測 48
4.2 常壓低溫電漿 49
4.3 可攜式電漿系統 51
4.4 電漿筆 56
4.5 可攜式電漿應用於表面處理 59
第五章 結論 60
參考文獻 63

參考文獻
[1] 曾煥華，電漿的世界，銀禾，1987
[2] 電漿處理在環境工程之應用技術研習會-93.07.13
[3] M. Wang, B. Holmes, X. Cheng, W. Zhu, M. Keidar, L.G. Zhang,PloS one ，
8(2013)73741
[4] 賴耿陽, "電漿工學的基礎," 復文書局, 2002.
[5] 陳勇志，義守大學，材料科學與工程學系碩士論文(2005)，新型低溫常壓電漿系統設計製
作及對光阻與聚亞醯胺材料表面處理之研究
[6] 徐逸明 ，游閔盛 ，郭有斌，黃 傑，洪昭南常壓電漿原理、技術與應用，化工技術，
2009.
[7] Andreas Sch¨utze, James Y. Jeong, Steven E. Babayan, Jaeyoung Park, Gary
S.Selwyn, and Robert F. Hicks, “The atmospheric-pressure plasma jet : a
review and comparison to other plasma sources”, IEEE Transactions On
Plasma Science, Vol.26, No.6, December 1998.
[8] D. S. Rickerby and A. Matthews, Advanced Surface Coatings: a Habdbook of
Surface Engineering, Blackie & Son Ltd., London (1991) 196.
[9] E. Gomez, D. A. Rani, C. R. Chesseman, D. Deegan, M. Wise, A. R.
Boccaccini,Journal of Hazardous Material, 161 (2009) 614-626.
[10] M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg, Principles of Plasma
Dischargesand Materials Processing. New York: Wiley, 1994.
[11] 何主亮，“電漿基礎實驗”材料進階實驗（一），1996。
[12] L.Bardos, H Barankova, Thin Solid Films, 518 (2010) 6705.-6713
[13] 游生任，國立中央大學環境工程研究所碩士論文(2000)，以介電質放電技
術轉化四氟甲烷及六氟乙烷之初步探討
[14] J. S. Chang 、 P. A. Lawless and T. Yamamoto “C orona Discharge
Process” IEEE transactions on plasma science, vol. 19, no. 6,p1152
(1991)
[15] Dielectric. Encyclopedia Britannica
[16] Dielectrics (physics). Britannica: 1. 2009. Online
[17] 李灝銘, 中央大學環境工程系博士論文, (2001) , 以低溫電漿去除揮發性有
機物之研究
[18] H. M. Lee, M. B. Chang, Chem. Eng. Technol., 21 (1998) 12.
[19] 吳俊廷，國立高雄應用科技大學化學工程與材料工程系碩士班，(2016)，
低溫大氣電漿系統開發及其於沉積薄膜之應用
[20] S. Brandt a, A. Schütz a, F.D. Klute a, J. Kratzer b, J. Franzke a,⁎，D
ielectric barrier discharges applied for optical spectrometry(2016)
[21] 劉世偉，國立交通大學，工學院精密與自動化工程學程碩士論文(2013)，
大氣壓電漿蝕刻圖案化TCP膜片應用於觸控面板之研究
[22] A. Schutze, J. Y. Jeong, S. E. Babayan, J Park, G. S. Selwyn, R. F.
Hicks, “The Atmospheric-Pressure Plasma Jet: A Review and Comparision to
Other Plasma Sources”, IEEE Transactions on Plasma Science, Vol. 26,
pp.1685-1694, 1998
[23] K. H. Becker, K. H. Schoenbach and J. G. Eden, “Microplasmas and
applications”,J. Appl. Phys. D: Appl. Phys., 39, R55 - R70, 2006.
[24] 林逸民，國立交通大學，機械工程學系碩士論文(2009)，常壓電漿介電質放
電在放電區域出口處進行高分子材料表面改質特性的研究
[25] Maheshwari, Preeti, Electronic Components And Processes, New Age
International, 2008, ISBN 9788122417944