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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:王芷姸
研究生(外文):WANG, ZHI-YAN
論文名稱:具備供酸系統及馬達監控的8吋單晶圓旋轉濕蝕刻設備開發研究-D公司個案研究
論文名稱(外文):Developing 8" Single Wafer Spinning Wet Etching Equipment with Chemical Supplying System and Motor Monitoring – A Case Study of D Company
指導教授:李慶章李慶章引用關係
指導教授(外文):LEE,CHING-CHANG
口試委員:李慶章陳世智尤濬哲
口試委員(外文):LEE,CHING-CHANGCHEN,SHIH-CHIHYU,CHUN-CHE
口試日期:2022-07-18
學位類別:碩士
校院名稱:國立高雄科技大學
系所名稱:管理學院高階主管經營管理碩士在職專班
學門:商業及管理學門
學類:其他商業及管理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2022
畢業學年度:110
語文別:中文
論文頁數:78
中文關鍵詞:8吋晶圓晶圓代工供酸系統馬達監控濕蝕刻設備
外文關鍵詞:8-Inch WaferFoundryAcid Supply SystemMotor MonitoringWet Etching Equipment 
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