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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:齊元任
研究生(外文):CHI, YUAN-JEN
論文名稱:半導體真空閘閥機構設計之研究
論文名稱(外文):Study of Vacuum Slit Valve Mechanism in Semiconductor Equipment
指導教授:周榮源周榮源引用關係
指導教授(外文):JOU, RONG-YUAN
口試委員:王威立許清閔劉晉奇
口試委員(外文):WANG, WILLIEHSU, CHING-MINLIU, JIN-CHEE
口試日期:2019-07-23
學位類別:碩士
校院名稱:國立虎尾科技大學
系所名稱:機械設計工程系碩士班
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2019
畢業學年度:107
語文別:中文
論文頁數:53
中文關鍵詞:真空傳輸閘板閥真空閥件應力分析自然頻率ANSYS Workbench
外文關鍵詞:Slit valveVacuum valveStress analysisNatural frequencyANSYS Workbench
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